XVS系列高精度納米級(jí)垂直定位臺(tái)采用單Crossfixx™超聲壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，適用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、真空腔體精密定位。

XVP系列工業(yè)級(jí)高負(fù)載垂直定位臺(tái)采用雙Crossfixx™超聲壓電電機(jī)并聯(lián)，負(fù)載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測(cè)等場(chǎng)景。

高精度垂直壓電位移臺(tái)優(yōu)勢(shì)

• 大行程10-50mm

• 分辨率5-1250nm

• 重復(fù)精度50-80nm

• 大負(fù)載可達(dá)2.5kg

XVS系列高精度垂直壓電位移臺(tái)核心參數(shù)表

XVS系列垂直位移臺(tái)

·定位：高精度納米級(jí)垂直定位平臺(tái)，為輕載精密應(yīng)用設(shè)計(jì)。

·核心特點(diǎn)：

·采用單Crossfixx™超聲壓電電機(jī)，實(shí)現(xiàn)無振動(dòng)、*音操作。

·斷電自鎖功能，斷電后仍保持位置穩(wěn)定。

·可選質(zhì)量補(bǔ)償模塊（MC1-MC4），負(fù)載能力提升至350g。

·兼容HV/UHV真空環(huán)境，熱耗散<5W，適合穩(wěn)定納米定位。

XPS系列垂直位移臺(tái)核心參數(shù)表

XPS系列垂直位移臺(tái)

·定位：高負(fù)載、高速垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

·核心特點(diǎn)：

·雙Crossfixx™電機(jī)并聯(lián)，驅(qū)動(dòng)力達(dá)15 N（保持力30 N），負(fù)載能力2.5 kg。

·12V低電壓驅(qū)動(dòng)，適合嵌入式系統(tǒng)集成。

·可選低磁/非磁軸承（-LM/-NM），減少磁場(chǎng)干擾。

關(guān)鍵選型建議：

5nm分辨率型號(hào)必須搭配XD-M控制器

UHV版本需指定無護(hù)套電纜和特殊連接器

超過100g負(fù)載建議采用MC1-4補(bǔ)償方案

·需納米級(jí)定位：選擇XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。

·需高速大負(fù)載：選擇XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）

應(yīng)用場(chǎng)景

·光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)

·真空環(huán)境應(yīng)用

·生物樣本操作

·生產(chǎn)線高速檢測(cè)
1000 mm/s掃描速度實(shí)現(xiàn)PCB板缺陷快速篩查。

·重型裝配
機(jī)器人末端執(zhí)行器搬運(yùn)2.5 kg光學(xué)元件（雙電機(jī)30N保持力防滑落）。

·醫(yī)療設(shè)備驅(qū)動(dòng)

手術(shù)機(jī)械臂的垂直進(jìn)給（12V低壓安全驅(qū)動(dòng)，非磁軸承避免MRI干擾）。